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光刻胶市场分析:中国半导体光刻胶市场约为17.8亿元 已经增长至约27.4亿元

2023年07月14日

  光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正、负性光刻胶)、深紫外光刻胶、X-射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业 。光刻胶生产技术较为复杂,品种规格较多,在电子工业集成电路的制造中,对所使用光刻胶有严格的要求。

  光刻胶技术壁垒较高,全球市场较为集中,其中日本合成橡胶(JSR)、日本信越化学、东京应化(TOK)、美国杜邦等日美企业占据全球光刻胶市场的主导地位。日本光刻胶技术处于国际领先水平,特别是在高端EUV光刻胶市场,几乎处于垄断市场。目前我国低端光刻胶基本实现了国产替代,但高端光刻胶进口依赖度仍较高,尤其是EUV光刻胶。

  随着中国本土半导体晶圆代工的产能增速迅猛,中国半导体光刻胶市场约为17.8亿元,已经增长至约27.4亿元,可实现31亿元市场规模。经过多年研发,中国厂商目前已经实现了除EUV光刻胶外的突破,代表公司有彤程新材、上海新阳、徐州博康、晶瑞股份等。此外,南大光电自主研发的ArF光刻胶通过了客户验证,在客户选择的50nm闪存产品中对控制栅进行了验证,结果显示为满足工艺要求,良率达标。

  1826年,法国人涅普斯(J. N. Niepce)最先发现了具有感光性的天然沥青,使用低黏度优质沥青涂覆玻璃板,预干后,置于相机暗盒内,开启曝光窗,经光学镜头长时间曝光后,沥青涂层感光逐渐交联固化,形成潜像,再经溶剂松节油清洗定影,获得最早的沥青成像图案。

  2018年5月30日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”专项(02专项)项目“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”,经过项目组全体成员的努力攻关,完成了EUV光刻胶关键材料的设计、制备和合成工艺研究、配方组成和光刻胶制备、实验室光刻胶性能的初步评价装备的研发,达到了任务书中规定的材料和装备的考核指标。 

  2019年11月25日,8种“光刻胶及其关键原材料和配套试剂”入选工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录》。

  据杭州中经智盛市场研究有限公司发布的《2022-2026年光刻胶市场现状调查及发展前景分析报告》显示:光刻胶是半导体制造的核心材料,行业壁垒高:光刻胶是半导体制造工艺中光刻技术的核心材料,其品质直接决定集成电路的性能和良率,也是驱动摩尔定律得以实现的关键材料。光刻胶按照应用领域可以分为PCB、面板、半导体用光刻胶三大类,其中半导体光刻胶技术门槛最高,专利技术、原材料、设备验证、客户认证使得行业壁垒高筑。国内产业链下游企业逐渐意识到核心材料国产化的重要性,国内厂商也在积极研发中高端产品、加速客户和产品导入、扩建相关产能,在探索中砥砺前行,从而抓住国产化的契机。目前已有少数企业已开始崭露头角,实现从0到1的突破。

   光刻胶是集成电路领域微加工的关键性材料,为推动光刻胶等半导体材料行业的发展,近年来,我国政府发布了多项利好政策支持光刻胶产业发展,同时国内企业也积极研发中高端产品,主动寻求光刻胶及其核心材料国产化。现阶段,我国光刻胶企业有晶瑞电材、彤程新材、华懋科技、南大光电等,在国产替代大契机下,国内光刻胶企业将迎来发展良机。

   伴随全球半导体产业东移,加上我国持续增长的下游需求和政策支持力度。同时,国内晶圆厂进入投产高峰期,由于半导体光刻胶与下游晶圆厂具有伴生性特点,国内光刻胶厂商将直接受益于晶圆厂制造产能的大幅扩张。当前我国高端光刻胶与全球先进水平有近40年的差距,半导体国产化的大趋势下,国内企业有望逐步突破与国内集成电路制造工艺相匹配的光刻胶,所以必须要对光刻胶足够的重视,不断向日本和欧美等发达国家学习,努力开发出性能优异的国产光刻胶,使我国在未来的市场中占据一席之地。


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